Ultra-wysoka czystość jeden cal lżejszy zawór gazowy dla fabryk półprzewodnikowych i laboratoriów analitycznych z powierzchniami elektropolitykowanymi i monitorowaniem cząstek stałych

Precyzyjnie zaprojektowany dla środowisk wrażliwych na zanieczyszczenia, ten kontrolowany cząstkamijeden cal lżejszy zawór gazowyWykorzystując stal nierdzewną 316L-VAR z wykończeniem elektropolitykowanym <0,5 Ra μm, urządzenie to zapewniazawór gazowy o wysokiej czystościosiąga standardy klasy 1/ISO 2 dotyczące cząstek stałych dla gazów półprzewodnikowych.000+ uruchomieniaJako niezbędnezawór gazowy laboratoryjny, zawiera uszczelniacze twarzy w stylu VCR dla integralności szczelnej od wycieku helu do 1x10−9 atm-cc/sec He, utrzymując czystość ppb dla gazów specjalnych, takich jak arsyn i silan.Zapewnienie, że urządzenie jest zgodne z normami SEMI F72Zawiera zintegrowane porty monitorowania cząstek stałych do weryfikacji zgodności z normą ISO 14644-1 klasy 3 na miejscu podczas instalacji.

Punkty:
✓Czyszczenie w nanoskali: < 5 cząstek > 0,1 μm na litr (na IEST RP CC001.6)
✓Ścisłe uszczelnienie: 1x10−9 atm-cc/sek prędkość wycieku helu
✓Odporność na korozję: Pasywaty według metody ASTM A967 kwasu azotowego
✓Działanie bez drgań: Projektowanie pnia antyrozonansowego
✓Fab-próbka: zgodne z SEMI F72zawór gazowy laboratoryjny

Scenariusz zastosowania:
W czystym pomieszczeniu półprzewodnikowym technicy instalują zawory z użyciem liczników cząstek, aby zweryfikować zerowe zanieczyszczenie podczas uruchamiania linii gazowej do wytwarzania chipów 5 nm.

Częste pytania:

P: Jakie certyfikaty dotyczące cząstek stałych towarzyszą tej wysokiej czystości zawór gazowy?
Odpowiedź: IEST-CC0016 klasa 1 przedstawia dane dotyczące rozkładu cząstek w zakresie 0,1-5,0 μm.

P: Czy jest panzawory gazowe laboratoriumKompatybilne z toksycznymi substancjami dopingującymi?
O: Tak, zaprojektowane dla gazów kategorii 1 SEMI S2 z pełną kompatybilnością materiału.

P: Czy można zintegrować monitorowanie cząstek stałych bez przerywania procesu?
Odpowiedź: Tak, porty próbkowe umożliwiają weryfikację na miejscu zgodną z normą ISO 14644-1.

P: Jaka jest skuteczność wydzielania gazu?
A: <1x10−9 g/cm2/sek TML/CVCM na NASA-STD-6001B.

P: Czy zapewniacie protokoły kontroli zanieczyszczeń instalacji?
A: Dostępne są szczegółowe zestawy instalacyjne zgodne z normą ISO 14644-5.